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四氟化碳的用途有哪些???? ?? ?

宣布时间:2015-04-01 | 游览:3297

内容摘要:四氟化碳是现在微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体 ,,,,,,,,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混淆体。。。。。。

    四氟化碳是现在微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体 ,,,,,,,,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混淆体。。。。。。

    1. 可普遍应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜质料的烛刻。。。。。。关于硅和二氧化硅系统 ,,,,,,,,接纳CF4-H2反应离子刻蚀时 ,,,,,,,,通过调理两种气体的比例 ,,,,,,,,可以获得45:1的选择性 ,,,,,,,,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。。。。。。

    2. 在电子器件外貌洗濯、太阳能电池的生产、激光手艺、气相绝缘、低温制冷、

走漏磨练剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大宗使用。。。。。。

    3. 由于化学稳固性极强 ,,,,,,,,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。。。。。。

    4. 四氟化碳的溶氧性很好 ,,,,,,,,因此被科学家用于超深度潜水实验取代通俗压缩空气。。。。。。现在已在老鼠身上获得乐成 ,,,,,,,,在275米到366米的深度内 ,,,,,,,,小白鼠仍可清静脱险。。。。。。


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